- THROUGH-VIAS AND METHODS OF FORMING THE SAME

摘要

집적 회로 구조체는 기판, 기판을 관통하는 금속 링, 금속 링에 의해 둘러싸인 유전체 영역, 및 유전체 영역을 관통하는 쓰루-비아를 포함한다. 유전체 영역은 쓰루-비아 및 금속 링과 접촉되어 있다.