发明名称 | 一种光刻胶组合物及其制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种光刻胶组合物及其制备方法。所述组合物包括:聚醚改性的有机硅流平剂、溶剂、光活性物质、有机酸、树脂和颜料分散体。所述制备方法包括:取溶剂溶解光活性物质,搅拌均匀,得到光活性物质溶液;加入有机酸;升温,加入聚醚改性的有机硅流平剂、树脂和颜料分散体,恒温混合均匀;升温,恒温搅拌两小时以除去溶剂,得到光刻胶组合物。 | ||
申请公布号 | CN105301904A | 申请公布日期 | 2016.02.03 |
申请号 | CN201510781930.X | 申请日期 | 2015.11.16 |
申请人 | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 | 发明人 | 陈哲;任鲁风;殷金龙 |
分类号 | G03F7/027(2006.01)I;G03F7/022(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/027(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种光刻胶组合物,其特征在于,所述组合物包括:聚醚改性的有机硅流平剂、溶剂、光活性物质、有机酸、树脂和颜料分散体。 | ||
地址 | 101111 北京市大兴区经济技术开发区科创六街88号亦庄生物医药园3号楼608 |