一种线形蒸发源及蒸镀设备

摘要

本发明公开了一种线形蒸发源及蒸镀设备，用以减少喷嘴堵塞现象的发生，提高蒸镀效率。其中，线形蒸发源，包括：一端开口的坩埚，坩埚内设有用于容置蒸镀材料的中空腔室；包围在坩埚外侧、为坩埚提供热量的第一加热器；盖合坩埚开口端的顶罩，顶罩上设有多个用于向待镀基板喷射气化的蒸镀材料的喷嘴；还包括：为每个喷嘴提供相同的热量的第二加热器，第二加热器包括：与喷嘴一一对应、且包裹在对应的喷嘴的外表面的加热端。

主权项

一种线形蒸发源，包括：一端开口的坩埚，所述坩埚内设有用于容置蒸镀材料的中空腔室；包围在所述坩埚外侧、为所述坩埚提供热量的第一加热器；盖合所述坩埚开口端的顶罩，所述顶罩上设有多个用于向待镀基板喷射气化的蒸镀材料的喷嘴；其特征在于，还包括：为每个所述喷嘴提供热量的第二加热器，所述第二加热器包括：与所述喷嘴一一对应、且包裹在对应的所述喷嘴的外表面的加热端。