发明名称 带人工磁导体结构的高增益太赫兹天线
摘要 带人工磁导体结构的太赫兹天线,利用CMOS工艺后端的多层金属工艺制造人工磁导体结构;天线具有六层金属,从最底到最上层分别为M1~M6层;使用M6制作天线,并通过通孔连接到由MOSEFTs器件构成的太赫兹传感器上;使用M1和M2制作人工磁导体底板来代替原有的光滑底板;底板M1为金属平板,M2金属层制备成周期性金属结构,M2层为正方形周期性金属块结构,正方形金属块边长L为5-8μm,正方形金属块周期间隔约为43-45μm,正方形金属块中心通过中心柱与底板相连,中心柱的尺寸是正方形金属块边长的1/10-1/5;M2金属层制备成周期性金属结构和M1平板之间组成一个等效的LC振荡电路。
申请公布号 CN105305034A 申请公布日期 2016.02.03
申请号 CN201510733273.1 申请日期 2015.10.30
申请人 南京大学 发明人 纪小丽;廖轶明;郑挺;闫锋
分类号 H01Q1/36(2006.01)I;H01Q19/10(2006.01)I 主分类号 H01Q1/36(2006.01)I
代理机构 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人 陈建和
主权项 带人工磁导体结构的太赫兹天线,其特征是利用CMOS工艺后端的多层金属工艺制造人工磁导体结构;天线具有六层金属,从最底到最上层分别为M1~M6层;使用M6制作天线,并通过通孔连接到由MOSEFTs器件构成的太赫兹传感器上;使用M1和M2制作人工磁导体底板来代替原有的光滑底板;底板M1为金属平板,M2金属层制备成周期性金属结构,M2层为正方形周期性金属块结构,正方形金属块边长L为5‑8μm,正方形金属块周期间隔约为43‑45μm,正方形金属块中心通过中心柱与底板相连,中心柱的尺寸是正方形金属块边长的1/10‑1/5;M2金属层制备成周期性金属结构和M1平板之间组成一个等效的LC振荡电路。
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