发明名称 |
带人工磁导体结构的高增益太赫兹天线 |
摘要 |
带人工磁导体结构的太赫兹天线,利用CMOS工艺后端的多层金属工艺制造人工磁导体结构;天线具有六层金属,从最底到最上层分别为M1~M6层;使用M6制作天线,并通过通孔连接到由MOSEFTs器件构成的太赫兹传感器上;使用M1和M2制作人工磁导体底板来代替原有的光滑底板;底板M1为金属平板,M2金属层制备成周期性金属结构,M2层为正方形周期性金属块结构,正方形金属块边长L为5-8μm,正方形金属块周期间隔约为43-45μm,正方形金属块中心通过中心柱与底板相连,中心柱的尺寸是正方形金属块边长的1/10-1/5;M2金属层制备成周期性金属结构和M1平板之间组成一个等效的LC振荡电路。 |
申请公布号 |
CN105305034A |
申请公布日期 |
2016.02.03 |
申请号 |
CN201510733273.1 |
申请日期 |
2015.10.30 |
申请人 |
南京大学 |
发明人 |
纪小丽;廖轶明;郑挺;闫锋 |
分类号 |
H01Q1/36(2006.01)I;H01Q19/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01Q1/36(2006.01)I |
代理机构 |
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 |
代理人 |
陈建和 |
主权项 |
带人工磁导体结构的太赫兹天线,其特征是利用CMOS工艺后端的多层金属工艺制造人工磁导体结构;天线具有六层金属,从最底到最上层分别为M1~M6层;使用M6制作天线,并通过通孔连接到由MOSEFTs器件构成的太赫兹传感器上;使用M1和M2制作人工磁导体底板来代替原有的光滑底板;底板M1为金属平板,M2金属层制备成周期性金属结构,M2层为正方形周期性金属块结构,正方形金属块边长L为5‑8μm,正方形金属块周期间隔约为43‑45μm,正方形金属块中心通过中心柱与底板相连,中心柱的尺寸是正方形金属块边长的1/10‑1/5;M2金属层制备成周期性金属结构和M1平板之间组成一个等效的LC振荡电路。 |
地址 |
210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 |