一种用于密封及重复定位的物镜保护窗口

摘要

本发明涉及一种用于密封及重复定位的物镜保护窗口。该结构包括窗口光学镜片、窗口镜框、密封胶、高精度定位机构、辅助定位块等，其中高精度定位机构包括固定套筒、球头杆、压紧盖、圆柱螺旋压缩弹簧、螺纹圆柱销。所述保护窗口的窗口光学镜片与窗口镜框之间通过密封胶圆周方向均匀涂抹进行密封，窗口镜组与级联镜组之间通过两个镜框基准面的紧密贴合实现密封，窗口镜组上的高精度定位机构与级联镜组上的辅助定位块配合实现除Z向的五个自由度约束，最后通过窗口镜组与级联镜组之间两个镜框基准面的紧密贴合实现窗口镜组最终六个自由度约束，进而实现窗口镜组的高精度重复定位功能。

主权项

一种用于密封及重复定位的物镜保护窗口，其特征在于，置于光刻物镜的始端或末端，包括：窗口镜组(1)、级联镜组(2)、高精度定位机构(3)；所述窗口镜组(1)由内而外依次包括窗口光学镜片(1‑1)、窗口镜框(1‑2)、窗口镜框下基准面(1‑3)、窗口镜框螺钉间隙孔(1‑4)；所述窗口镜框(1‑2)上设有密封胶(1‑5)、窗口镜框溢胶槽(1‑6)、高精度定位机构安装螺纹孔(1‑7)；所述级联镜组(2)由内而外依次包括窗口级联镜框(2‑1)、级联镜框级联螺纹孔(2‑3)；所述窗口级联镜框(2‑1)上设有辅助定位块(2‑2)和级联镜框辅助定位块安装螺纹孔(2‑4)；其中辅助定位块(2‑2)包括V型定位块(2‑2‑1)、凹球型定位块(2‑2‑2)、平面型定位块(2‑2‑3)；窗口镜组(1)的定位形式上采用三处沿着圆周方向120°均布的球头‑V型槽、球头‑凹型球窝、球头‑平面相配合的立体式定位方式；所述高精度定位机构(3)由上至下依次包括压紧盖(3‑1)、压缩弹簧(3‑4)、球头杆(3‑5)；所述压缩弹簧(3‑4)和球头杆(3‑5)的外侧设有固定套筒(3‑2)；球头杆(3‑5)上设有螺纹圆柱销(3‑3)、定位机构腰形限位孔(3‑7)和定位机构工具接口(3‑8)；压紧盖(3‑1)上设有定位机构外端固定螺纹(3‑6)；高精度定位机构(3)内的球头杆(3‑5)可沿机构轴向上高精度位移。