一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置及其方法

摘要

本发明提供了一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置及其方法，该装置包括光源、分光装置、透镜、光电位移传感器、信号放大器、光信号处理器和计算机；所述光源、分光装置、透镜和所述光电位移传感器的光接收面的中心同一光路上、且依次排列；所述光电位移传感器、信号放大器、光信号处理器和计算机依次电连接。光源经过所述分光装置分成多束光，经过透镜投射到所述光电位移传感器上，所述光电位移传感器将光信号经过所述信号放大装置放大后传送到所述光信号处理器，所述光信号处理器将光信号转换为电信号后输入到所述计算机，所述计算机进行薄膜厚度的计算，可实现同时多点测量单面镀膜透镜的镀膜厚度，通过对比镀膜厚度分析镀膜的均匀性。

主权项

一种多点同时测量单面镀膜透镜的镀膜厚度装置，其特征在于，包括光源(1)、分光装置(2)、透镜(3)、光电位移传感器(4)、信号放大器(5)、光信号处理器(6)和计算机(7)；所述分光装置(2)包括至少1个半透半反镜和1个全反镜；所述全反镜位于所述半透半反镜的反射光路上，所述半透半反镜的入射光路和所述半透半反镜的反射光路的夹角为90度角，所述半透半反镜的反射光路为所述全反镜的入射光路，所述全反镜的入射光路和所述全反镜的反射光路夹角为90度角，所述半透半反镜的透射光路与所述全反镜的反射光路相平行；所述光源(1)、分光装置(2)、透镜(3)和所述光电位移传感器(4)的光接收面的中心位于同一光路上、且依次排列；所述光电位移传感器(4)、信号放大器(5)、光信号处理器(6)和计算机(7)依次电连接；所述光电位移传感器(4)用于接收光信号，并将光信号传送到所述信号放大器(5)；所述信号放大器(5)用于将光信号转换为电信号后输入到所述计算机(7)；所述计算机(7)用于计算透镜的镀膜厚度。