用于改进FIB模制的模式修改方案

摘要

一种引导带电粒子束的改进方法通过更改一个或更多偏转器信号来补偿带电粒子行经所述系统所需的时间。根据本发明的一个实施例，在数字到模拟(D/A)转换之前对扫描模式应用数字滤波器，以便减小或消除可能由TOF误差引起的过冲效应。在其他实施例中，模拟滤波器或者对具有较低带宽的信号放大器的使用也可以被用来补偿TOF误差。通过更改扫描模式，可以显著减小或消除过冲效应。

主权项

一种在带电粒子束系统中引导带电粒子束的方法，包括：为带电粒子束选择所期望的扫描模式，针对带电粒子束的扫描模式是通过对偏转器系统中的至少一个偏转器平板施加至少第一电压和第二电压而产生的；通过将数字或者模拟滤波器应用于所期望的扫描模式而修改所期望的扫描模式，以便补偿当所施加的电压从第一电压改变到第二电压时由正传播经过带电粒子束系统的带电粒子所引起的行程时间误差；将经修改的扫描模式转换到模拟信号；以及将所述模拟信号施加到偏转器系统，以便引导带电粒子束。