带有梁形元件的可振动的微机械系统

摘要

本发明涉及一种带有至少一个梁形元件(210)的微机械系统(200)，该梁形元件具有一悬臂的端部(211)，并且在其另一端部(212)处连接在微机械系统(200)的另一个元件上。在这种情况下，按照本发明，为了优化所述微机械系统(200)的机械性能，在梁形元件(210)中如此设置凹槽(213)，使得所述梁形元件的质量朝着悬臂的端部(211)减少。此外，本发明还包括用于制造一种带有至少一个梁形元件(210)的微机械系统(200)的方法。

主权项

带有至少一个梁形元件（210）的微机械系统（200），该梁形元件具有悬臂的端部（211），并且在其另一端部（212）处连接着所述微机械系统（200）的另一元件，其特征在于，在梁形元件（210）中如此设有凹槽（213），使得所述梁形元件（210）的质量朝着悬臂的端部（211）减少，其中ａ） 在微机械系统（200）运行过程中在梁形元件（210）的质量元件内出现的机械负荷被确定，并且ｂ） 没有或者只有相对微小地被加载的质量元件借助于凹槽（213）被从梁形元件（210）中移除。