基于宽谱光源干涉原理的样品位移测量系统

摘要

本实用新型公开了一种基于宽谱光源干涉原理的样品位移测量系统，该样品位移测量系统包括：用于发出相干光的光源、用于将该相干光分束为第一、第二光信号的光纤耦合器、用于根据分束后的第一光信号返回参考光的参考臂、用于根据分束后的第一光信号返回干涉光的样品臂、以及用于对该参考光与干涉光所形成的干涉信号进行解调得到光谱信息的光谱解调器，其中，所述参考臂与样品臂共路形成一光干涉通路。本实用新型的基于宽谱光源干涉原理的样品位移测量系统具有结构简单、成本低、测试效率高、且测量精度可达到纳米级等优点。

主权项

一种基于宽谱光源干涉原理的样品位移测量系统，其特征在于，包括：用于发出相干光的光源、用于将该相干光分束为第一、第二光信号的光纤耦合器、用于根据分束后的第一光信号返回参考光的参考臂、用于根据分束后的第一光信号返回干涉光的样品臂、以及用于对该参考光与干涉光所形成的干涉信号进行解调得到光谱信息的光谱解调器，其中，所述参考臂与样品臂共路形成一光干涉通路。