发明名称 研削装置
摘要
申请公布号 JP5850759(B2) 申请公布日期 2016.02.03
申请号 JP20120025827 申请日期 2012.02.09
申请人 株式会社ディスコ 发明人 安藤 滋;長嶋 政明
分类号 B24B41/06;B24B7/04;B24B49/10;H01L21/304 主分类号 B24B41/06
代理机构 代理人
主权项
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