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发明名称 試料保持装置および試料解析装置
摘要
申请公布号 JP5851318(B2) 申请公布日期 2016.02.03
申请号 JP20120088918 申请日期 2012.04.10
申请人 日本電子株式会社 发明人 鈴 木 俊 明;松 島 英 輝
分类号 H01J37/20;H01J37/28 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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