发明名称 半導体装置
摘要
申请公布号 JP5852080(B2) 申请公布日期 2016.02.03
申请号 JP20130229518 申请日期 2013.11.05
申请人 ローム株式会社 发明人 ▲芳▼我 基治;安永 尚司;糟谷 泰正
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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