冷阱及冷阱的安装结构

摘要

本发明提供一种具有较快的排气速度的冷阱及冷阱的安装结构。本发明的冷阱（110）具备用于将排气对象容积连接到真空泵的导管（124）及被导管（124）包围的冷板（120），导管（124）在被排气侧具备入口凸缘（126），在真空泵侧具备出口凸缘（128），出口凸缘（128）在导管（124）的延伸方向上与入口凸缘（126）隔开间隔而配设，入口凸缘（126）的外径大于出口凸缘（128）的外径。

主权项

一种冷阱，其设置于排气对象容积与用于该容积的真空排气的真空泵之间，所述冷阱的特征在于，具备：导管，该导管在容积侧具有入口开口、在真空泵侧具有出口开口，并且用于将所述容积与所述真空泵连接；及冷板，被所述导管包围，所述导管在被排气侧具备入口凸缘，在真空泵侧具备出口凸缘，所述出口凸缘在所述导管的延伸方向上与所述入口凸缘隔开间隔而配设，所述入口凸缘的外径大于所述出口凸缘的外径，所述入口开口大于所述出口开口。