发明名称 SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
摘要 측벽(25)은, 측벽(25)의 외면으로부터 이간하는 방향으로 측벽(25)으로부터 돌출되어 분리위치로부터 장착위치로 접근함에 따라 돌출량이 커지도록 구성된 반원형의 반원형 철부(251)와, 핸들링부재(8)를 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동 가능하게 안내하는 안내부재(252, 252A)와, 한 쌍의 측벽(25)의 안측에 형성된 안측 결합부(253)를 갖는다. 핸들링부재(8)는 한 쌍의 측벽(25)의 각각을 따라 배치되는 대략 판 모양의 핸들링부재 본체(81)와, 핸들링부재(8)의 두께방향으로 핸들링부재 본체(81)를 관통하도록 형성되고, 반원형 철부(251)가 결합 가능한 원형의 위치규제 관통구멍(84)과, 안내부재(252, 252A)에 결합하여 안내부재(252, 252A)에 의해 장착위치와 분리위치의 사이에서 이동이 안내되는 핸들링부재측 피안내부(86)와, 분리위치로부터 장착위치로의 핸들링부재(8)의 이동에 의해, 안측 결합부(253)에 결합 가능한 안측 피결합부(87)를 갖는다.
申请公布号 KR20160013018(A) 申请公布日期 2016.02.03
申请号 KR20157032142 申请日期 2013.05.29
申请人 MIRAIAL CO., LTD.;SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 发明人 KANAMORI YUTA
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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