| 摘要 |
기판을 검사하기 위하여, 먼저 납이 도포되기 전의 기판의 이미지 정보를 디스플레이한다. 이어서, 기판 상의 적어도 하나의 측정영역을 촬상하여, 촬상된 측정영역의 이미지를 획득한다. 다음으로, 획득된 측정영역의 이미지를 이용하여 디스플레이되는 이미지 정보를 갱신하고, 갱신된 이미지 정보를 디스플레이한다. 또한, 기판의 이물질을 검사하기 위하여, 획득된 측정영역의 이미지를 기판의 기준 이미지와 비교하여 이물질이 있는지 여부를 검사한다. 이에 따라, 작업자가 디스플레이되는 기판의 이미지의 특정 부분에 대응하여 실제 기판의 해당 부분의 위치를 용이하게 파악할 수 있으며, 기판 상에 존재하는 이물질을 용이하게 검출할 수 있다. |
