掩模交接机构及具有该掩模交接机构的掩模台

摘要

一种具有所述掩模交接机构的掩模台，包括：承版台；第一转接板和第二转接板；第一电机和第二电机，第一电机和第二电机用于为所述掩模台提供扫描向运动驱动力、微动方向驱动力，以及通过第一电机和第二电机的差动提供Rz微动方向的驱动力；第一光栅尺和第二光栅尺；第一方向测量镜和第二方向测量镜；以及掩模交接机构，所述掩模交接机构固定设置在所述底座上，并位于所述掩模台扫描运动方向上的一掩模交接位处。本发明所述掩模台通过固定设置所述掩模交接机构于所述掩模交接位处，所述掩模交接机构并具有Rz和Z向运动功能，降低所述掩模台的Rz行程需求。同时，所述掩模台具有第一电机、第二电机，以及第一光栅尺、第二光栅尺，降低所述掩模台的设计难度。

主权项

一种掩模交接机构，其特征在于，所述掩模交接机构包括：交接手，其顶部支撑并吸附掩模版；垂直运动机构，所述垂直运动机构固定连接所述交接手的底部，并驱动所述交接手的沿垂向运动；以及，旋转机构，所述旋转机构设置于所述垂直运动机构的底部，并驱动所述垂直运动机构和交接手沿Rz向旋转运动；所述垂直运动机构进一步包括：导轨连接板，其上表面与所述交接手固定连接；音圈电机，所述音圈电机的定子设置于旋转机构上，所述音圈电机的动子与所述导轨连接板下表面固定连接，并驱动所述导轨连接板沿垂向运动；导轨，所述导轨沿垂向设置于旋转机构上并设有滑块，所述滑块与所述导轨连接板固定连接，为所述垂直运动机构提供垂直运动导向。