用于AMOLED显示器的像素电路的缺陷检测及修正

摘要

本发明公开了在基于阵列的半导体器件的制造期间检测所述半导体器件的缺陷的方法，其包括如下步骤：在制造形成所述半导体器件的多种类型的实体的中间阶段检测形成所述半导体器件的所述实体中的缺陷；确定检测到的缺陷是否超过了检测出缺陷的所述实体的类型的预选阀值；如果所述检测到的缺陷没有超过所述预选阀值，则继续所述半导体器件的制造；以及如果所述检测到的缺陷超过所述预选阀值，则对所述检测到的缺陷的类型进行识别，修复识别出的缺陷并且继续所述半导体器件的制造。根据本发明，能够在制造期间识别出缺陷和不均匀性。

主权项

一种在基于阵列的半导体器件的制造期间检测所述半导体器件的缺陷的方法，所述方法包括如下步骤：在制造形成所述半导体器件的多种类型的实体的中间阶段检测形成所述半导体器件的所述实体中的缺陷；确定检测到的缺陷是否超过了检测出缺陷的所述实体的类型的预选阀值；如果所述检测到的缺陷没有超过所述预选阀值，则继续所述半导体器件的制造；以及如果所述检测到的缺陷超过所述预选阀值，则对所述检测到的缺陷的类型进行识别，修复识别出的缺陷并且继续所述半导体器件的制造。