基板移送装置

摘要

本发明是关于一种基板移送装置，在对脆性材料基板刻划并切断后，移送至下一步骤阶段时，不会对基板等造成损伤地将基板滑顺地移送。该基板移送装置，具备将基板从第1位置空间部(A)往第2位置空间部(B)移送的输送皮带(20)、以及配置于第1位置空间部(A)与第2位置空间部(B)之间的皮带旋转驱动部；该皮带旋转驱动部，构成为：借由将输送皮带(20)的上部皮带压下而与上部皮带对应的下部皮带也下降，此外，借由将下部皮带压升而上部皮带也上升。

主权项

一种基板移送装置，其特征在于，包含：输送皮带(20)，以使基板从第1位置空间部(A)往第2位置空间部(B)移送的方式架设于多个第1固定旋转体(10)并进行旋转移动；皮带旋转驱动部，配置于该第1位置空间部(A)与第2位置空间部(B)之间，形成为在将该输送皮带(20)的载置该基板的上部皮带往下方压下时与该上部皮带对应的下部皮带也下降，而且，在将该下部皮带往上方压升时该上部皮带也上升；以及第2固定旋转体(60)，以架设于该下部皮带内侧的方式配置，且装设成在该上部皮带及该下部皮带的下降及上升时移动被固定，并依据该上部皮带及下部皮带的下降及上升距离而旋转。