一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶

摘要

本发明公开了一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶，包括密封的内、外两层，外层为带有接口的光刻胶瓶身，内层为软性内囊，用于容纳光刻胶，一氮气管从接口通入瓶身和内囊之间，一光刻胶导管从接口处插入内囊中，瓶身内底部固设有一凹槽形凸起结构，内囊下端具有一与凸起结构的凹槽侧壁对应的开口，并通过其开口与凹槽侧壁密封连接，光刻胶导管下端伸入凸起结构的凹槽内，当内囊受压时，无法接触到导管下端的光刻胶出口造成其堵塞，从而避免了因此问题而导致的气泡和涂布异常现象。

主权项

一种可改善涂布覆盖不良的光刻胶瓶，包括密封的内、外两层，外层为带有接口的光刻胶瓶身，内层为软性内囊，用于容纳光刻胶，一氮气管从接口通入瓶身和内囊之间，一光刻胶导管从接口处插入内囊中，其特征在于，所述瓶身内底部固设有一凹槽形凸起结构，所述内囊下端具有一与所述凸起结构的凹槽侧壁对应的开口，并通过所述开口与凹槽侧壁密封连接，所述光刻胶导管下端伸入所述凸起结构的凹槽内。