多参数高稳定性抛光液循环控制系统及工作方法

摘要

本发明属于抛光设备领域，公开了一种多参数高稳定性抛光液循环控制系统，包括支架底座，以及安装在支架底座上的蠕动泵、综合容器罐、离心泵、加水泵、流量计、粘度计、热敏电阻、超声波液位计、液体罐、磁场发生器、工控机、开盖机构、输出管路和回收管路；所述流量计、粘度计、热敏感电阻，依次设置在离心泵的输出端口；所述超声波液位计安装在罐盖上；所述流量计、粘度计、热敏电阻、超声波液位计的检测信号输出至工控机，所述工控机输出控制信号对蠕动泵、离心泵、加水泵和磁场发生器进行控制。本发明还公开了一种多参数高稳定性抛光液循环控制系统的工作方法。本发明能对多种工艺参数同时进行稳定控制；综合容器罐易拆卸，便于系统清洗。

主权项

一种多参数高稳定性抛光液循环控制系统，其特征在于：包括支架底座(16)，以及安装在支架底座上的蠕动泵(1)、综合容器罐(2)、离心泵(3)、加水泵(4)、流量计(6)、粘度计(7)、热敏电阻(8)、超声波液位计(9)、液体罐(10)、磁场发生器(11)、工控机(12)、开盖机构(13)、输出管路和回收管路；所述蠕动泵(1)分别与综合容器罐(2)、回收管路的回收端连接，用于回收抛光液；所述离心泵(3)与综合容器罐(2)连接，用于泵出综合容器罐内液体；所述加水泵(4)分别与综合容器罐(2)和液体罐(10)连接；所述磁场发生器，在使用磁流变抛光液时在加工区域产生磁场，控制液体的流变；所述流量计、粘度计、热敏感电阻，依次设置在离心泵的输出端口；所述超声波液位计安装在罐盖上，一端伸入综合容器罐内；所述流量计、粘度计、热敏电阻、超声波液位计的检测信号输出至工控机，所述工控机输出控制信号对蠕动泵、离心泵、加水泵和磁场发生器进行控制；所述开盖机构(13)由罐盖(17)、驱动气缸(27)和罐盖连接件(18)组成，罐盖与综合容器罐对应设置，所述驱动气缸与罐盖相连，用于控制罐盖的打开与闭合。