封装芯片背面失效定点的方法

摘要

本发明公开了一种封装芯片背面失效定点的方法，包含：第1步，针对封装样品进行背面研磨，直至暴露出芯片背面，以及暴露出包裹在封装体内的引线；第2步，对样品表面进行清理及固定；第3步，采用打线机，在芯片引线和封装基座之间引线实现互联；第4步，对封装基座引线施加电学信号，激发漏电路径，采用传统的失效定点设备进行失效定点。本发明适用于各种封装形式和封装大小，对研磨的可控范围大，能够有效地对失效样品进行失效分析前的样品制备，对样品分析发挥有效作用。

主权项

一种封装芯片背面失效定点的方法，其特征在于，包含：第1步，针对失效的封装芯片进行背面研磨，直至暴露出芯片背面，以及暴露出包裹在封装体内的引线；第2步，对样品表面进行清理及固定；第3步，采用打线机，在芯片引线和封装基座之间实现引线互联；若打线机识别不了芯片引线，则在芯片引线正上方生长铂金属条之后，再在铂金属条与封装基座之间显现引线互联；第4步，对封装基座引线施加电学信号，激发漏电路径，采用失效定点设备进行失效定点。