用于形成荧光粉转换型发光装置中的薄膜荧光粉层的系统和方法

摘要

薄膜荧光粉层可通过改进的沉积方法形成，所述方法包括：(1)形成大致均匀分布在基片表面上的荧光粉层；和(2)形成聚合物粘合剂层以填充松散堆积的荧光粉颗粒之间的缝隙，因而形成大致连续的薄膜层。

主权项

一种在基片上形成薄膜荧光粉层的系统，所述系统包括：沉积子系统，其限定外壳以容纳所述基片；荧光粉末输送子系统，其被构造成使用运载气体将荧光粉末从荧光粉末源输送到所述沉积子系统；聚合物前体输送子系统，其被构造成将气相的聚合物前体输送到所述沉积子系统；和控制子系统，其与所述沉积子系统、所述荧光粉末输送子系统以及所述聚合物前体输送子系统连接，其中所述控制子系统被构造成控制所述荧光粉末输送子系统在第一时间间隔内将所述荧光粉末输送到所述沉积子系统，以在靠近所述基片处形成荧光粉末层，并且所述控制子系统被构造成控制所述聚合物前体输送子系统在第二时间间隔内将所述聚合物前体输送到所述沉积子系统，以在靠近所述荧光粉末层处形成聚合物层。