拼版蒸镀掩模

摘要

本发明提供一种即使在大型化的情况下也能够满足高精细化和轻量化二者的拼版蒸镀掩模的制造方法。配置于框体内的开口空间的多个掩模分别由设有缝隙的金属掩模、和位于该金属掩模的表面且纵横配置多列与要蒸镀制作的图案对应的开口部的树脂掩模构成，在其形成上，在所述框体上安装了各金属掩模及用于制作所述树脂掩模的树脂薄膜材料之后，通过对所述树脂薄膜材料进行加工，纵横地形成多个与要蒸镀制作的图案对应的开口部，制造上述构成的拼版蒸镀掩模。

主权项

一种拼版蒸镀掩模，其在框体内的开口空间配置多个掩模而构成，其特征在于，在所述框架上安装有多张金属掩模，并且，在所述各金属掩模上分别配置有多个树脂薄膜，所述金属掩模具有与所述框架内的开口空间的纵横方向的任一方向的尺寸对应的长度，且在另一方向具有比开口空间的尺寸短的长度，所述各掩模具有：所述的设有缝隙的金属掩模、位于所述金属掩模的各缝隙内，与要蒸镀制作的图案对应的由所述树脂薄膜材料形成的开口部。