| 发明名称 | 一种芯片飞行对中装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种芯片飞行对中装置及方法，其中所述芯片飞行对中装置包括：具有拾取头和标记点的拾取机构和上视视觉系统，其中，当所述拾取机构运动到所述上视视觉系统的视场中时，通过所述上视视觉系统的相机采集所述拾取头的图像和标记点的图像，并根据图像采集结果计算出所述标记点和所述拾取头之间的第一距离；当所述拾取机构拾取芯片经过上视视觉系统的视场区间时，所述上视视觉系统的相机采集所述拾取头上芯片的图像和所述标记点的图像。本发明所提供的芯片飞行对中装置及方法避免了因机械原因导致速度不恒定对飞行对中的影响，提高了稳定性并提升了识别精度。 | ||
| 申请公布号 | CN105304539A | 申请公布日期 | 2016.02.03 |
| 申请号 | CN201510582385.1 | 申请日期 | 2015.09.14 |
| 申请人 | 北京中电科电子装备有限公司 | 发明人 | 庄文波;叶乐志;李恺;孙玮淇;于海波;唐亮 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;安利霞 |
| 主权项 | 一种芯片飞行对中装置，其特征在于，包括：具有拾取头和标记点的拾取机构和上视视觉系统，其中，当所述拾取机构运动到所述上视视觉系统的视场中时，通过所述上视视觉系统的相机采集所述拾取头的图像和标记点的图像，并根据图像采集结果计算出所述标记点和所述拾取头之间的第一距离；当所述拾取机构拾取芯片经过上视视觉系统的视场区间时，所述上视视觉系统的相机采集所述拾取头上芯片的图像和所述标记点的图像，并根据图像采集结果计算出所述芯片的中心和所述标记点的中心分别与上视视觉系统的相机的中心的第二距离和第三距离，根据所述第二距离、第三距离和第一距离计算出所述芯片在所述拾取头上的位移偏差。 | ||
| 地址 | 100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室 | ||