| 摘要 |
본 발명은 레이저 보정 방법 및 장치로서, 기판에 레이저를 조사할 때 레이저의 에너지 세기를 보정하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 형태는 복수의 레이저 광원에서 발진되어 각각의 개별 감쇠기에 의해 세기 조절된 개별 레이저 펄스의 피크값을 각각 측정하는 개별 레이저 펄스 측정 과정; 측정되는 개별 레이저 펄스의 피크값이 미리 설정한 개별 오차 범위를 벗어난 경우, 오차 범위를 벗어난 레이저 광원에 할당된 개별 감쇠기의 입사각을 조절하는 개별 감쇠기 입사각 제어 과정; 측정되는 개별 레이저 펄스의 피크값이 미리 설정한 개별 오차 범위 내에 들어올 때까지, 상기 개별 레이저 펄스 측정 및 개별 감쇠기 입사각 제어를 반복하는 과정;을 포함한다. |
