一种蓝宝石晶棒的切割工艺及其加工治具

摘要

本发明公开了一种蓝宝石晶棒的切割工艺及其加工治具，其工艺包括如下步骤：1）将固定晶棒的加工治具粘接到多线切割机底座上，保证加工治具的底面与多线切割机的底面平行；2）所述加工治具与多线切割机底座粘接固化后，将蓝宝石晶棒粘接固定在加工治具上的弧形定位槽内，蓝宝石晶棒的端面与所述加工治具的端面平行，保证蓝宝石晶棒的切入面晶向；3）启动多线切割机，线锯配合切割液从蓝宝石晶棒的切入面晶向依次切割蓝宝石晶棒和加工治具，直至将晶棒完全切断，本发明结合加工治具对蓝宝石晶棒进行切割，能够一次切割多根的蓝宝石晶棒，生产效率高、切割质量好。

主权项

一种蓝宝石晶棒的切割工艺，其特征在于：用于切割直径在12mm以下的蓝宝石晶棒，包括如下步骤：1)将固定晶棒的加工治具粘接到多线切割机底座上，保证加工治具的底面与多线切割机的底面平行，所述加工治具的顶面与多线切割机底座粘接，底面设有半径与固定蓝宝石晶棒匹配的弧形定位槽，所述弧形定位槽之间相互平行，所述加工治具的橡胶硬度HD为97+3，在85℃的水中的硬度HD为91±3，接近蓝宝石晶棒硬度；2)所述加工治具与多线切割机底座粘接固化后，将蓝宝石晶棒粘接固定在加工治具上的弧形定位槽内，蓝宝石晶棒的端面与所述加工治具的端面平行，保证蓝宝石晶棒的切入面晶向，所述加工治具与多线切割机底座之间、蓝宝石晶棒与加工治具之间通过树脂材质的AB固化胶粘接；3)启动多线切割机，线锯配合切割液从蓝宝石晶棒的切入面晶向依次切割蓝宝石晶棒和加工治具，所述线锯为金刚石线锯，其直径小于0.22mm，包括钢丝线以及电镀在钢丝线上的金刚石粉末，其中，所述线锯运行速度300‑500mm/min、摇摆角度5°‑7°、摇摆速度250‑350deg/min、切入速度20‑25mm/h，直至将晶棒完全切断。