| 发明名称 | 衬底支承体 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于对待处理的衬底或晶片进行容纳并且输送进入或穿过处理设备的衬底支承体。借助本发明要建立一种衬底支承体，其可以尽可能通用地使用或者说对于具体任务可简单轻松地匹配，并且节约材料。这通过如下方式达到：在由纵向支承体和横向支承体（2、3）构成的框架（1）内，彼此格栅式地交叉地布置有多个纵向接片和横向接片（4、5），从而形成基本格栅用以直接或间接容纳衬底。不仅纵向支承体和横向支承体（2、3）而且纵向接片和横向接片（4、5）都形状配合地彼此连接。 | ||
| 申请公布号 | CN102686768B | 申请公布日期 | 2016.02.03 |
| 申请号 | CN201080055533.X | 申请日期 | 2010.03.18 |
| 申请人 | KGT石墨科技有限公司 | 发明人 | 托尔斯滕·科恩迈尔 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 车文;樊卫民 |
| 主权项 | 一种用于对待处理的衬底进行容纳并且输送到处理设备中或输送通过处理设备的衬底支承体，包括：由纵向支承体和横向支承体(2、3)构成的框架(1)，在所述框架(1)内多个纵向接片和横向接片(4、5)彼此格栅式交叉地布置并且相互连接，从而形成基本格栅用于直接或间接容纳衬底，其特征在于，不仅所述纵向支承体和横向支承体(2、3)而且所述纵向接片和横向接片(4、5)都形状配合地相互连接，其中，形状配合的连接通过孔/塞连接(8)和/或嵌接(9)来进行，其中，塞具有至少非圆形的或带角的外部轮廓，并且孔具有形状一致的内部轮廓，所述纵向支承体和横向支承体(2、3)分别由上条带和下条带(6、7)构成，所述上条带和所述下条带通过螺接而牢固地但能松开地相互连接，所述纵向接片和横向接片(4、5)通过嵌接(9)格栅式交叉地相互连接，所述纵向接片和横向接片(4、5)通过孔/塞连接(8)形状配合地固定在所述上条带和所述下条带(6、7)之间，其中进一步，在所述上条带与所述下条带之间借助孔/塞连接形状配合地不仅固定有所述横向支承体而且固定有所述横向接片。 | ||
| 地址 | 德国温德哈根 | ||