并联X-Y工作台

摘要

本发明公开了一种并联X-Y工作台，包括动工作平台、X方向滚动直线导轨副机构、Y方向滚动直线导轨副机构；所述动工作平台设置在静工作平台上，所述静工作平台设置在基座上，所述X方向滚动直线导轨副机构、Y方向滚动直线导轨副机构分别设置在X方向导轨底座和Y方向导轨底座上，所述X方向滚动直线导轨副机构、Y方向滚动直线导轨副机构分别与动工作平台连接。本发明使动气浮平台在一个平面内实现X-Y方向的移动，充分发挥了气体的误差均化效果，提高运动精度；采用气缸作为驱动部件，大大降低成本，且将气缸安装在动气浮平台两相邻侧面，动气浮平台随气缸活塞杆的线性移动而实现X-Y方向的移动；以滚动直线导轨副作为导向机构，导向简单，易于控制。

主权项

一种并联X‑Y工作台，该工作台包括动工作平台（3）、X方向滚动直线导轨副机构（13）、Y方向滚动直线导轨副机构（10）；所述动工作平台（3）设置在静工作平台（2）上，所述静工作平台（2）设置在基座（1）上，所述X方向滚动直线导轨副机构（13）、Y方向滚动直线导轨副机构（10）分别设置在X方向导轨底座（11）和Y方向导轨底座（9）上，所述X方向滚动直线导轨副机构（13）的导轨滑块的顶端面与X方向薄板连接件（14）的一端刚性连接，所述X方向薄板连接件（14）的另一端与X方向矩形套筒（15）刚性连接，所述X方向矩形套筒（15）与X方向气缸（16）非刚性连接，所述X方向气缸（16）通过X方向螺栓（17）与动工作平台（3）刚性连接；所述Y方向滚动直线导轨副机构（10）的导轨滑块的顶端面与Y方向薄板连接件（7）的一端刚性连接，所述Y方向薄板连接件（7）的另一端与Y方向矩形套筒（4）刚性连接，所述Y方向矩形套筒（4）与Y方向气缸（5）非刚性连接，所述Y方向气缸（5）通过Y方向螺栓（6）与动工作平台（3）刚性连接;所述X方向导轨底座（11）和Y方向导轨底座（9）上分别设置X方向位移检测装置光栅尺（12）和Y方向位移检测装置光栅尺（8）;所述X方向气缸（16）的缸筒嵌套在X方向矩形套筒（15）内，所述X方向矩形套筒（15）的上下两个内表面均与X方向气缸（16）的缸筒外表面无接触，所述X方向矩形套筒（15）的其余两个内表面均与X方向气缸（16）的缸筒外表面相接触；所述Y方向气缸（5）的缸筒嵌套在Y方向矩形套筒（4）内，所述Y方向矩形套筒（4）的上下两个内表面均与Y方向气缸（5）的缸筒外表面无接触，所述Y方向矩形套筒（4）的其余两个内表面均与Y方向气缸（5）的缸筒外表面相接触。