线光源及具备此线光源的薄膜蒸镀装置

摘要

本发明涉及一种线光源及具备此线光源的薄膜蒸镀装置。该线光源，包括：汽缸部，其具有与基板的表面平行的水平方向的长度，且上侧设有使蒸镀物质向上侧喷射的多个喷嘴，并具有内部空间；一个以上的连接部，其与所述汽缸部结合而与所述内部空间连通，并向所述汽缸部的下侧突出；坩埚部，其连接到所述连接部的下端并用于装蒸镀物质。并且线光源设定有：第1温度控制区域，包括所述坩埚部；第2温度控制区域，包括所述连接部，温度高于所述第1温度控制区域；第3温度控制区域，包括所述汽缸部，温度高于所述第2温度控制区域；第4温度控制区域，包括所述多个喷嘴，温度高于所述第3温度控制区域。

主权项

一种线光源，其特征在于，作为薄膜蒸镀装置的线光源，所述薄膜蒸镀装置包括：工艺腔室，其形成密闭的处理空间；线光源，其被设置在所述处理空间的下侧，通过加热蒸镀物质而使其蒸发，从而在位于所述处理空间上侧的基板上形成薄膜，所述线光源，包括：汽缸部，其具有与所述基板的表面平行的水平方向的长度且上侧设有使蒸镀物质向上侧喷射的多个喷嘴，并具有内部空间；一个以上的连接部，其与所述汽缸部结合而与所述内部空间连通，并向所述汽缸部的下侧突出；坩埚部，其连接到所述连接部的下端并用于装蒸镀物质，其中，所述线光源设定有：第1温度控制区域，包括所述坩埚部；第2温度控制区域，包括所述连接部，温度高于所述第1温度控制区域；第3温度控制区域，包括所述汽缸部，温度高于所述第2温度控制区域；第4温度控制区域，包括所述多个喷嘴，温度高于所述第3温度控制区域，所述第1至第4温度控制区域被控制为温度高于所述蒸镀物质的汽化温度，所述第1至第4温度控制区域分别设有能够独立控制的加热器。