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본 발명은 하기 일반식(1a), 일반식(2) 및 일반식(3)으로 나타내어지는 반복 단위를 함유하는 고분자 화합물을 제공한다:식 중, R은 H, F, CH또는 CF을 나타낸다. R, R및 R는 직쇄상 또는 분기상의 알킬기, 알케닐기 또는 옥소알킬기, 또는 아릴기, 아랄킬기, 아릴옥소알킬기 또는 4-플루오로페닐기를 나타낸다. R, R및 R중의 임의 2개는 서로 결합하여 식 중의 유황 원자와 함께 고리를 형성하더라도 좋다. 단, R∼R중의 어느 하나 이상은 4-플루오로페닐기를 나타낸다. n은 0∼2의 정수. R은 H, 또는 알킬기를 나타낸다. p는 0 또는 1을 나타낸다. B는 단결합 또는 2가의 유기기를 나타낸다. a는 O∼3의 정수를 나타낸다. b는 1∼3의 정수를 나타낸다, X는 산불안정기를 나타낸다. 본 발명의 술포늄염은 중합 용제에의 용해성이 우수하고, 또한 이것을 이용한 고분자 화합물은 레지스트 용제에의 용해성도 충분히 높다. |
