| 发明名称 | 低放射率静电卡盘 | ||
| 摘要 | 一种静电卡盘，包括加热器及配置在加热器上的电极。此静电卡盘也包括绝缘体层及配置在绝缘体上的涂层，其中所述涂层用以支撑电极系统所产生的静电场以便吸住基板。 | ||
| 申请公布号 | CN105308735A | 申请公布日期 | 2016.02.03 |
| 申请号 | CN201480035023.4 | 申请日期 | 2014.04.16 |
| 申请人 | 瓦里安半导体设备公司 | 发明人 | 朱利安·G·布雷克;岱尔·K·史东;留德米拉·史东;麦可·斯库拉么尔 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/324(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 杨贝贝;臧建明 |
| 主权项 | 一种静电卡盘，包括：加热器；电极，配置在所述加热器上；绝缘体层，配置在所述电极上；以及涂层，配置在所述绝缘体上，用以支撑所述电极所产生的静电场以便吸住基板。 | ||
| 地址 | 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号 | ||