| 摘要 |
냉매의 누설 리스크가 대폭으로 저감되고, 또한 냉각 효율을 향상시키는 것이 가능한 성막 장치 및 성막 방법을 제공한다. 성막 장치(1)는, 챔버(2)의 공간(2e) 내에서 워크 W를 냉각하는 냉각부(4)와, 워크 W가 적재된 상태에서 수직축 주위로 회전하는 회전 테이블 본체(11)이며, 냉각부(4)가 적재되는 냉각부 적재부(21)와, 당해 냉각부 적재부(21)의 주위를 둘러싸도록 배치되고, 워크 W가 적재되는 워크 적재부(22)를 갖는 회전 테이블 본체(11)와, 냉각부(4)를, 공간(2e) 내에 있어서, 회전 테이블 본체(11)에 적재된 제1 위치와 당해 회전 테이블 본체(11)로부터 상방으로 이격됨과 함께 워크 적재부(22)에 적재된 워크 W의 측면과 대향하는 제2 위치 사이에서 승강시키는 승강 기구(5)와, 챔버(2)에 설치되고, 냉각부(4)에 착탈 가능하게 접속되어 당해 냉각부(4)에 냉매를 공급하는 냉매 배관(6)을 구비하고 있다. |
