| 摘要 |
본 발명은 기판을 지지하기 위한 이송암이 승강 가능하게 결합되는 승강프레임; 상기 이송암을 승강시키기 위한 구동력을 제공하기 위해 상기 승강프레임에 결합되는 구동부; 상기 이송암이 승강됨에 따라 상기 구동부로부터 발생하는 이물질이 비산되는 것을 차단하기 위한 커버; 상기 커버를 지지하기 위해 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 커버지지부; 및 상기 이송암의 승강경로를 가이드하기 위한 가이드부가 설치되는 가이드설치부를 포함하고; 상기 커버지지부 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되며, 상기 가이드설치부는 상기 구동부의 일측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 1 가이드설치부재, 및 상기 구동부의 타측에 위치되게 상기 승강프레임으로부터 돌출되게 형성되는 제 2 가이드설치부재를 포함하되, 상기 제 1 가이드설치부재, 상기 제 2 가이드설치부재 및 상기 승강프레임은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 승강장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 구동부로부터 비산되는 이물질의 이동을 차단함으로써, 이물질에 의해 상기 기판 및 주변환경이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 기판의 품질이 저하되는 것을 방지할 수 있다. |
