发明名称 CONTROL APPARATUS LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE
摘要 본 발명은, 제어 대상의 피드포워드 제어를 수행하도록 구성되는 피드포워드 제어기를 포함하는 제어 장치로서, 제어 대상에 제1 조작 변수를 가함으로써 계측되는 제어 대상의 제1 응답 데이터 시퀀스를 취득하고, 시간에 따라 변동될 수 있는 변수로서의 게인을 제1 조작 변수에 각각 승산함으로써 취득되는 제2 조작 변수 데이터 시퀀스가 제어 대상에 가해지는 경우, 취득될 제어 대상의 제2 응답 데이터 시퀀스가 선형 결합의 계수로서의 게인과 제1 응답 데이터 시퀀스의 선형 결합으로서 표현되는 것으로 가정하여, 제2 응답 데이터 시퀀스와 목표 데이터 시퀀스 사이의 차이가 허용 범위 내에 속하게 게인을 결정하도록 구성되는, 제어 장치를 제공한다.
申请公布号 KR101591143(B1) 申请公布日期 2016.02.02
申请号 KR20130034344 申请日期 2013.03.29
申请人 캐논 가부시끼가이샤 发明人 하라야마 도모히로;아키모토 사토시
分类号 G03F7/20;G05B13/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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