RESIN AND CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST COMPOSITION COMPRISING THE SAME

摘要

하기 식 (I)로 나타낸 구조 단위를 포함하는 수지: 여기서, Q및 Q는 각각 독립적으로 불소 원자 등을 나타내고, U는, 하나 이상의 -CH-가 -O- 등으로 대체될 수 있는 C1-C20 2가(divalent) 탄화수소기를 나타내고, X은 -O-CO- 등을 나타내고, 그리고 A는 유기 상대 이온을 나타냄.