| 摘要 |
커패시터 및 이의 제조 방법으로, 상기 커패시터는, 기판 상에 규칙적으로 반복 배치되고 상부면이 평탄하여 각 부위에서 일정한 높이를 갖는 복수의 하부 전극들을 포함한다. 서로 이웃하는 적어도 한쌍의 하부 전극들의 상부 측벽면의 일부와 각각 접촉되면서 연장되는 지지 구조물이 구비된다. 상기 하부 전극들 및 지지 구조물들의 표면을 따라 유전막이 구비된다. 또한, 상기 유전막 상에 상부 전극이 구비된다. 상기 커패시터는 상부면이 평탄하므로 높은 커패시턴스 및 낮은 누설 전류를 갖고, 지지 구조물이 구비되므로 안정된 구조를 갖는다. |
