光罩相关基板的洗净方法、洗净方法及洗净液供给装置

摘要

明是一种光罩相关基板的洗净方法，当根据纯水来洗净从被硫酸离子污染后的光罩用基板、空白光罩、光罩及这些物品的制造中间体中选择出来的光罩相关基板时，对在该洗净中所使用的纯水，预先进行将溶解气体脱气的脱气步骤。又，本发明是一种洗净方法，是将洗净液供给至洗净装置中，来洗净被洗净基板的洗净方法，当利用用以除去异物的过滤器来过滤洗净液，并将该过滤后的洗净液，通过供给管而供给至洗净装置中来洗净被洗净基板时，至少在将过滤后的洗净液往洗净装置供给之前，先使过滤后的洗净液通过排出管而往系统外部排出，之后，才将过滤后的洗净液，通过供给管而供给至洗净装置中。藉此，提供一种洗净方法，特别是在洗净从光罩用基板、空白光罩、光罩及这些物品的制造中间体中选择出来的光罩相关基板的情况，能利用简便的方法来提高对于硫酸离子的洗净效率，进而能极度地减少微小异物的发生量。

主权项

一种洗净方法，是将洗净液供给至洗净装置中，来洗净被洗净基板的洗净方法，其特征在于：当利用用以除去异物的过滤器来过滤上述洗净液，并将该过滤后的洗净液，通过供给管而供给至上述洗净装置中来洗净被洗净基板时，至少在将上述过滤后的洗净液往上述洗净装置供给之前，先使上述过滤后的洗净液通过排出管而往系统外部排出，之后，直到将上述过滤后的洗净液通过供给管而开始供给至上述洗净装置中为止，从上述排出管持续排出洗净液；然后，在开始供给上述过滤后的洗净液后，一边通过上述供给管来供给过滤后的洗净液，一边同时地通过上述排出管来持续排出过滤后的洗净液；又，当停止往洗净装置供给上述过滤后的洗净液时，仍通过上述排出管来持续排出过滤后的洗净液；并且，直到上述全部的被洗净基板洗净完成为止，通过上述排出管来持续排出上述过滤后的洗净液。