用以检验图案之线宽及／或位置错误之方法

摘要

明提供一种方法及系统，其用于：成像一待检验物件并获得一光学影像；从设计图案资料建立一参考影像；准备一检验配方，其包含一个或多个范本及该检验所需要的参数设定；将该图案及该范本彼此对照检查，并选择对应于该范本之参考影像；根据该参数设定使用经判定之座标作为一参考而在该经选择参考影像中侦测第一边缘及第二边缘；在该光学影像中侦测第一边缘及第二边缘，此光学影像对应于该经选择参考影像；及判定一检验值，其系藉由使用该参考影像之该等第一边缘及第二边缘以及该光学影像之该等第一边缘及第二边缘获取该光学影像与该参考影像的线宽间之差而进行判定。

主权项

一种用以检验于其上呈现不同类型图案之一待检验物件上的一图案之一线宽的方法，该方法包括：成像该待检验物件并获得一光学影像；从设计图案资料建立一参考影像；量测该参考影像中该图案之一线宽；登记一所获得量测值；登记上述所获得量测值之范围及集中(centering)在该量测值之临限值之范围；及藉由搜寻只位于一期望座标区域之一线的第一及第二边缘之至少一者，判定在该光学影像中是否存在具有与上述临限值之范围中的上述登记值匹配之一线宽的一图案，若存在此一图案，则量测该光学影像中的该图案之该线宽以作为该线之上述边缘之位置间之差(difference)，该期望座标区域系对应于一匹配参考座标而决定，该匹配参考座标系识别该参考影像及该光学影像之两者中之一相同参考位置者。