基底支撑装置和使用该基底支撑装置的热处理装置

摘要

明公开了一种基底支撑装置及使用该基底支撑装置的热处理装置。基底支撑装置包括本体构件和多个支撑构件，多个加热物件彼此分离地叠置在本体构件上，多个支撑构件沿本体构件内的每个加热物件的表面设置并支撑每个加热物件的表面。

主权项

一种基底支撑装置，包括：本体构件，多个加热物件被彼此分离地叠置在上述本体构件上；以及多个支撑构件，沿上述本体构件内的每个加热物件的表面设置并支撑每个加热物件的表面；上述支撑构件包括：多个框架，以在上述本体构件内与每个加热物件的表面相对应地彼此分离的方式被设置；以及多个支撑间隔件，从彼此分离的每个框架伸出并支撑每个加热物件；每个上述支撑构件还包括旋转轴，上述旋转轴被设置成用于上述框架，上述支撑间隔件被可旋转地连接到上述旋转轴。