溅镀装置及溅镀装置之维护方法

摘要

明于溅镀装置之靶材更换、阴极清理时，可由两人以上同时作业，避免高处作业，并将靶材以朝上之状态进行更换。

主权项

一种溅镀装置，其包含：真空槽；成膜辊，其配备于上述真空槽内；靶材，其与上述成膜辊对向；阴极，其支持上述靶材；阴极台车，其支持上述靶材及阴极；阴极旋转机构，其设置于上述阴极台车，且将上述靶材及阴极能够以上述靶材之长度方向为旋转轴进行旋转地予以支持；阴极滑动机构，其设置于上述台车，且可变更上述阴极旋转机构之高度地予以支持；及引导零件，其将上述阴极台车可移动地予以支持引导。