| 发明名称 |
磨料颗粒、抛光浆料和使用其的半导体装置的制造方法 |
| 摘要 |
包含形成在母粒的表面上的辅粒的磨料颗粒、通过混合所述磨料颗粒与抛光加速剂和pH值调节剂而制备的抛光浆料和制造半导体装置的方法，其中绝缘层是在将导电层用作为抛光中止层的同时由所述抛光浆料来抛光的。
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| 申请公布号 |
TWI519635 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
| 申请号 |
TW103131469 |
申请日期 |
2014.09.12 |
| 申请人 |
中小企业银行 |
发明人 |
郑胜元 |
| 分类号 |
C09K3/14(2006.01);C09G1/02(2006.01);H01L21/304(2006.01);H01L21/31(2006.01);H01L21/3205(2006.01) |
主分类号 |
C09K3/14(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
| 主权项 |
一种磨料颗粒，包括：母粒，具有多面晶面；以及多个辅粒，其形成在所述母粒的表面上且向外生长并突起。
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| 地址 |
南韩 |
