| 发明名称 |
晶舟加载台用喷嘴组件及具备其的晶舟加载台 |
| 摘要 |
明提供一种晶舟加载台用喷嘴组件，包括：中空型外壳，与晶舟加载台的平台结合，形成有上部孔及下部孔；喷嘴，包括喷嘴头、喷嘴杆及喷嘴塞，其中，所述喷嘴头，能够藉由所述外壳的上部孔进出，所述喷嘴杆，从所述喷嘴头延伸，并配置在所述外壳的内部空间，及所述喷嘴塞，从所述喷嘴杆延伸，配置在所述下部孔外部并无法进入所述外壳内部；及弹簧，设置在所述外壳内，以使所述喷嘴头偏向上方。
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| 申请公布号 |
TW201604942 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
| 申请号 |
TW104100052 |
申请日期 |
2015.01.05 |
| 申请人 |
ＬＳ ＴＥＣ股份有限公司;权柄喆 |
发明人 |
权柄喆 |
| 分类号 |
H01L21/30(2006.01);H01L21/673(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/30(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗;郑婷文;詹富闵 |
| 主权项 |
一种晶舟加载台用喷嘴组件，其特征在于，包括：中空型外壳，与晶舟加载台的平台结合，形成有上部孔及下部孔；喷嘴，包括喷嘴头，能够藉由所述外壳的上部孔进出；喷嘴杆，从所述喷嘴头延伸，并配置在所述外壳的内部空间；及喷嘴塞，从所述喷嘴杆延伸，配置在所述下部孔外部并无法进入所述外壳内部；及弹簧，设置于所述外壳内，以使所述喷嘴头偏向上方。
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| 地址 |
南韩;南韩 |
