发明名称 |
气体传输装置及方法 |
摘要 |
明揭露气体传输装置与方法,用以在具有第一电压之第一气体容器以及具有第二电压之第二气体容器之间传输气体。其使用电性绝缘管线来传输气体,藉以改善因为出现高电压或电压差而被损耗或发生破裂等的缺失。其可再包含与电性绝缘管线机械性串联并可以弯曲伸缩之波型管,藉以吸收气体传输装置所承受的震动与扭曲。 |
申请公布号 |
TW201604311 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
申请号 |
TW103125146 |
申请日期 |
2014.07.22 |
申请人 |
汉辰科技股份有限公司 |
发明人 |
倪玉河;林群杰;张昱琳;刘志通 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01);C23C16/54(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈达仁 |
主权项 |
一种气体传输装置,用于在位于第一电压之第一气体容器与位于第二电压之第二气体容器之间传输一气体,至少包含: 一电性绝缘管线,该电性绝缘管线之材料为电性绝缘材料,藉以隔绝该电性绝缘管线二侧;以及 一波型管,该波型管可以弯曲伸缩,藉以吸收该气体传输装置所承受的震动与扭曲; 在此,该电性绝缘管线与该波型管系机械性串联。 |
地址 |
新竹市新竹科学工业园区研新一路18号5楼 |