发明名称 |
偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法 |
摘要 |
偏光变换元件,可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光,变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光,且可以防止光量损失。偏光变换元件10变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成,在周方向有厚度变化的分布。厚度分布,被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光,变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域10A~10D,且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又,这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。 |
申请公布号 |
TW201604936 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
申请号 |
TW104133152 |
申请日期 |
2005.01.12 |
申请人 |
尼康股份有限公司 |
发明人 |
谷津修;重松幸二;广田弘之;松山知行 |
分类号 |
H01L21/027(2006.01);G02B27/28(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/027(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗 |
主权项 |
一种偏光变换元件,将入射光的偏光状态变换成所定的偏光状态,其特征在于包括: 利用有旋光性的光学材料所形成,且具有在周方向变化的厚度分布。 |
地址 |
日本 |