使用气体喷嘴之成膜装置

摘要

明提供一种成膜装置，在呈真空气体环境之纵型的反应容器内，以配置有成棚架状地保持复数片基板之基板保持具的状态，对该反应容器内交互地供给原料气体、及与该原料气体反应而生成反应生成物的反应气体，以于该基板上成膜，具备：第1原料气体喷嘴与第2原料气体喷嘴，沿着该基板之配置方向延伸设置，在与各该基板彼此间的间隙分别对应之高度位置，形成朝向该基板的部喷吐该原料气体之复数之气体喷吐孔；反应气体供给部，供对该反应容器内供给该反应气体所用；第1原料气体供给路与第2原料气体供给路，分别和该第1原料气体喷嘴与第2原料气体喷嘴连接；第1槽与第2槽，分别设置于该第1原料气体供给路之中途与第2原料气体供给路之中途，供在将该原料气体升压的状态下储存该原料气体所用；阀，分别设置于该第1槽之上游侧与下游侧、该第2槽之上游侧与下游侧；以及排气口，供将该反应容器内真空排气所用；在配置该基板之高度区域里，于配置方向的之高度区域，配置该第1原料气体喷嘴及该第2原料气体喷嘴双方之气体喷吐孔，于该之高度区域以外，配置该第1原料气体喷嘴及该第2原料气体喷嘴中至少任一方之气体喷吐孔。

主权项

一种成膜装置，以在呈真空气体环境之纵型的反应容器内，配置有成棚架状地保持复数片基板之基板保持具的状态，对该反应容器内交互地供给原料气体、及与该原料气体反应而生成反应生成物的反应气体，以于该复数片基板上成膜，具备： 第1原料气体喷嘴与第2原料气体喷嘴，沿着该基板之配置方向延伸设置，在与各该基板彼此间的间隙分别对应之高度位置，形成朝向该基板的中央部喷吐该原料气体的复数之气体喷吐孔； 反应气体供给部，用以对该反应容器内供给该反应气体； 第1原料气体供给路与第2原料气体供给路，分别和该第1原料气体喷嘴与第2原料气体喷嘴连接； 第1槽与第2槽，分别设置于该第1原料气体供给路之中途与第2原料气体供给路之中途，用以在将该原料气体升压的状态下储存该原料气体； 阀，分别设置于该第1槽之上游侧与下游侧、及该第2槽之上游侧与下游侧；以及 排气口，用以将该反应容器内真空排气； 在配置该基板之高度区域里，于配置方向的中央之高度区域，配置该第1原料气体喷嘴与该第2原料气体喷嘴双方之气体喷吐孔，于该中央之高度区域以外，配置该第1原料气体喷嘴与该第2原料气体喷嘴中至少任一方之气体喷吐孔。