正型感光性树脂组成物、光硬化性乾性膜及其制造方法、叠层体、图案形成方法及基板

摘要

明提供一种正型感光性树脂组成物，能改善在如铜、铝之金属配线、电极、基板上，尤其在如氮化矽之基板上发生之剥离之问题，能使用泛用的2.38%TMAH水溶液作为显影液，于图案底部、基板上不发生渣滓、拖尾地以顺推拔形状形成微细图案。一种正型感光性树脂组成物，含有:(A)将式(1)表示之矽氧烷化合物、式(2)及/或式(3)表示之苯酚类、与式(4)表示之醛酮类于酸触媒下缩合而得之高分子化合物;(B)因光产生酸并且对于硷水溶液之溶解速度增大之感光材;(C)交联剂;及(D)溶剂。 【化1】【化2】【化3】【化4】

主权项

(A)含有羧基及矽氧烷链之高分子化合物; (B)因光产生酸并且对于硷水溶液之溶解速度增大之感光材; (C) 交联剂，选自于以下化合物中之1种或2种以上:利用甲醛或甲醛-醇改性而得之胺基缩合物、1分子中平均有2个以上之羟甲基或烷氧基羟甲基之苯酚化合物、多元苯酚之羟基之氢原子取代为环氧丙基而得之化合物、多元苯酚之羟基之氢原子取代为下式(C-1)表示之取代基而得之化合物、及1分子中含有2个以上之下式(C-2)表示之具环氧丙基之氮原子之化合物;及 (D)溶剂; 该(A)成分系使下列通式(1)表示之于两末端有苯酚基之矽氧烷化合物、与下列通式(2)表示之苯酚类及下列通式(3)表示之苯酚类中之一者或两者、与下列通式(4)表示之1种以上之醛酮类于酸触媒下缩合而得; 　　【化1】式中，点线代表键结，Rc表示碳数1~6之直链状、分枝状、或环状之烷基，s为1又2; 　　【化2】式中，R1
~R4
可相同或不同，表示碳数1~8之1价烃基;a为1~100之整数; 　　【化3】式中，b为1或2，X于b为1之情形表示2价有机基，于b为2之情形表示3价有机基;又，于b为1之情形，羧基也可未介隔X而直接键结于苯酚; 　　【化4】式中，c为1或2，Y于c为1之情形表示选自于氢原子、碳数1~6之烷基、羟基、及卤素原子中之1价取代基，于c为2之情形表示也可以有Si、S、O之原子之2价有机基; 　　【化5】式中，R5
表示氢原子或甲基，Z表示碳数1~12之2价伸烷基、芳香族基。