发明名称 |
感光性树脂材料及树脂膜 |
摘要 |
明之感光性树脂材料用于形成永久膜,且含有作为硷可溶性树脂(A)之选自酚醛清漆型酚树脂、苯酚芳烷基树脂、及羟基苯乙烯树脂中之一种或两种以上、及作为感光剂(B)之感光性重氮醌(diazoquinone)化合物,且藉由无焰原子吸光分析而测得之铁相对于非挥发成分整体之含量为0.005ppm以上且80ppm以下,作为上述铁,包含非离子性之铁。
|
申请公布号 |
TW201604649 |
申请公布日期 |
2016.02.01 |
申请号 |
TW104112160 |
申请日期 |
2015.04.16 |
申请人 |
住友电木股份有限公司 |
发明人 |
田中裕马 |
分类号 |
G03F7/022(2006.01);H01L21/312(2006.01);H05K3/28(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/022(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
阎启泰;林景郁 |
主权项 |
一种感光性树脂材料,其用于形成永久膜,含有:作为硷可溶性树脂(A)之选自酚醛清漆型酚树脂、苯酚芳烷基树脂、及羟基苯乙烯树脂中之一种或两种以上;及作为感光剂(B)之感光性重氮醌(diazoquinone)化合物;且藉由无焰原子吸光分析而测得之铁相对于非挥发成分整体之含量为0.005ppm以上且80ppm以下,作为上述铁,包含非离子性之铁。
|
地址 |
日本 |