发明名称 电阻式记忆体装置及其制作方法
摘要 电阻式记忆体装置,包括:一基板;一下电极,位于基板上方;一下电阻转态层,位于下电极上;一界面层,位于下电阻转态层与下电极间;一上电阻转态层,位于下电阻转态层上;及一上电极,位于上电阻转态层上。
申请公布号 TWI520394 申请公布日期 2016.02.01
申请号 TW102137251 申请日期 2013.10.16
申请人 华邦电子股份有限公司 发明人 曾俊元;黄骏扬;黄崇佑;蔡宗霖
分类号 H01L45/00(2006.01);H01L21/8239(2006.01);H01L21/324(2006.01);G11C13/00(2006.01) 主分类号 H01L45/00(2006.01)
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项 一种电阻式记忆体装置,包括:一基板;一下电极,位于该基板上方;一下电阻转态层,位于该下电极上;一界面层,位于该下电阻转态层与该下电极间,其中该界面层是氮氧化钛或氮氧化钽;一上电阻转态层,位于该下电阻转态层上;及一上电极,位于该上电阻转态层上。
地址 台中市大雅区科雅一路8号