| 摘要 |
본 발명에 따른 처리가스 공급모듈을 포함하는 금속표면처리장치는, 표면 처리가 가능한 온도로 가열된 대상금속을 표면처리하는 금속표면처리장치에 있어서, 상기 대상금속의 외면 형상에 대응되는 형상으로 형성되고, 상기 대상금속의 외면으로부터 이격된 상태로 상기 대상금속의 적어도 일부를 수용하는 반응챔버 및 처리가스가 유동되는 유동부 및 상기 유동부와 연결되어 상기 처리가스를 배출하는 배출부를 포함하며, 상기 배출부는 상기 반응챔버에 연결되어 상기 반응챔버 내에 수용된 대상금속 측으로 처리가스를 공급하는 처리가스공급모듈을 포함한다. 그리고 이를 이용한 금속표면처리방법은, 대상금속의 외면 형상에 대응되는 형상으로 형성되고, 상기 대상금속의 외면으로부터 이격된 상태로 상기 대상금속의 적어도 일부를 수용하는 반응챔버 내에 대상금속을 위치시키는 단계 및 처리가스가 유동되는 유동부 및 상기 유동부와 연결되어 상기 처리가스를 배출하는 배출부를 포함하는 처리가스공급모듈을 통해 상기 반응챔버 내에 처리가스를 공급하여 상기 대상금속에 처리가스층을 형성하는 단계를 포함한다. |
