| 摘要 |
본 발명에 따르면, 교류 전압에 의해 플라즈마 방전이 각각 이루어지는 제 1 플라즈마 발생부 및 제 2 플라즈마 발생부와, 상기 제 1 플라즈마 발생부와 제 2 플라즈마 발생부 사이의 스트리머 방전에 의한 제 3 플라즈마 발생부를 구비하는 2 중 플라즈마 발생기를 포함하며, 상기 2중 플라즈마 발생기에서 발생한 플라즈마를 이용하여 반응가스를 해리하는 폴리실리콘 제조 장치가 제공되며, 또한 상기 폴리실리콘 제조 장치를 이용하는 폴리실리콘의 제조 방법이 제공된다. |
